四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60X(CL)
產品品牌：西格瑪(SIGMA KOKI )四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60X(CL)
品牌簡介：SIGMA KOKI日本西格瑪光機株式會社1977年4月創立,SIGMA KOKI日本西格瑪光機集團有6個研發,生產和銷售據點.同時,還有4個關聯子公司(兩個在日本,在美國和中國各一個).公司所有部門都取得了ISO9001:2008和ISO14001:2004 認證.
日本西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60X(CL)
特征 四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60X(CL)
SFS 系列平臺是我們*新開發的，利用了彈性變形和壓電陶瓷驅動件的超精密定位平臺。其中，有部分產品內置了位移傳感器可以實現閉環控制，可以實現20nm 的分辨率，90μm 行程，320μm 的手動粗調。
我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構，以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構。并采用我公司的超精密加工技術進行生產制造。
注意四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60X(CL)
所有數據的測量溫度環境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前，請仔細閱讀使用說明書和安裝說明書。
所有數據均為單個平臺的數據，而非組裝后的復合體，“復合”平臺。
所有數據均為許用載荷內的值，而且載荷在平臺中心，無偏載。
所有數據均為在上面板上的值。
行程為開環控制時的數據。
直動平臺的重復定位精度值是采樣時間為350μs 時的閉環控制時的值；對于轉動平臺和擺動平臺，則是開環控制時的值。
分辨率是使用FINE-01，503 時的數據。
采用FINE 控制器，改善了閉環控制時的直線性。
CL：采用位移傳感器的閉環控制平臺／ OP：無位移傳感器的開環控制平臺
規格：四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密（壓電陶瓷）平臺SFS-60X(CL)
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型號
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行程（粗調）
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行程（細調）
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自重
[kg]
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承載能力
[N]
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理論分辨率（開環）]
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分辨率（閉環）
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重復重復定位精度
[μm]
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Y軸方向直線度
[μm]
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Z軸方向直線度
[μm]
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SFS-60X(CL)
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320±10% （μm)
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90±10% （μm)
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0.37
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9.8 （1kgf)
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1 （nm
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20 （nm)
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0.1
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1
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0.5
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SFS-60YAW(OP）
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57±15% （分)
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900±15% （秒)
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0.31
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9.8 （1kgf)
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0.01 （秒)
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－
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－
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－
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－
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SFS-60RP(OP)
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25±15% （分)
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215±15% （秒)
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0.38
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9.8 （1kgf)
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0.005 （秒)
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－
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－
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－
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－
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