四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)
產(chǎn)品品牌:西格瑪(SIGMA KOKI )
品牌簡介:SIGMA KOKI日本西格瑪光機株式會社1977年4月創(chuàng)立,SIGMA KOKI日本西格瑪光機集團有6個研發(fā),生產(chǎn)和銷售據(jù)點.同時,還有4個關(guān)聯(lián)子公司(兩個在日本,在美國和中國各一個).公司所有部門都取得了ISO9001:2008和ISO14001:2004 認證.
日本西格瑪精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60X(CL)
特征:四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)
SFS 系列平臺是我們*新開發(fā)的,利用了彈性變形和壓電陶瓷驅(qū)動件的超精密定位平臺。其中,有部分產(chǎn)品內(nèi)置了位移傳感器可以實現(xiàn)閉環(huán)控制,可以實現(xiàn)20nm 的分辨率,90μm 行程,320μm 的手動粗調(diào)。
我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構(gòu),以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進行生產(chǎn)制造。
注意四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)
所有數(shù)據(jù)的測量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前,請仔細閱讀使用說明書和安裝說明書。
所有數(shù)據(jù)均為單個平臺的數(shù)據(jù),而非組裝后的復合體,“復合”平臺。
所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內(nèi)的值,而且載荷在平臺中心,無偏載。
所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。
行程為開環(huán)控制時的數(shù)據(jù)。
直動平臺的重復定位精度值是采樣時間為350μs 時的閉環(huán)控制時的值;對于轉(zhuǎn)動平臺和擺動平臺,則是開環(huán)控制時的值。
分辨率是使用FINE-01,503 時的數(shù)據(jù)。
采用FINE 控制器,改善了閉環(huán)控制時的直線性。
CL:采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺/ OP:無位移傳感器的開環(huán)控制平臺
規(guī)格:四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)
型號
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行程(粗調(diào))
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行程(細調(diào))
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自重
[kg]
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承載能力
[N]
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理論分辨率(開環(huán))]
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分辨率(閉環(huán))
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重復重復定位精度
[μm]
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Y軸方向直線度
[μm]
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Z軸方向直線度
[μm]
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SFS-60X(CL)
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320±10% (μm)
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90±10% (μm)
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0.37
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9.8 (1kgf)
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1 (nm
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20 (nm)
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0.1
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1
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0.5
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SFS-60YAW(OP
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57±15% (分)
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900±15% (秒)
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0.31
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9.8 (1kgf)
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0.01 (秒)
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-
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-
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-
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-
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SFS-60RP(OP)
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25±15% (分)
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215±15% (秒)
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0.38
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9.8 (1kgf)
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0.005 (秒)
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-
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-
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-
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-
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四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)