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產(chǎn)品資料

四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)
產(chǎn)品型號: SFS-60YAW(OP)
產(chǎn)品展商: 日本西格瑪光機SIGMA KOKI
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP) SFS 系列平臺是我們*新開發(fā)的,利用了彈性變形和壓電陶瓷驅(qū)動件的超精密定位平臺。其中,有部分產(chǎn)品內(nèi)置了位移傳感器可以實現(xiàn)閉環(huán)控制,可以實現(xiàn)20nm 的分辨率,90μm 行程,320μm 的手動粗調(diào)。 我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構(gòu),以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進行生產(chǎn)制造。 四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)


四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)  的詳細介紹

四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)

產(chǎn)品品牌:西格瑪(SIGMA KOKI )
品牌簡介:SIGMA KOKI日本西格瑪光機株式會社19774月創(chuàng)立,SIGMA KOKI日本西格瑪光機集團有6個研發(fā),生產(chǎn)和銷售據(jù)點.同時,還有4個關(guān)聯(lián)子公司(兩個在日本,在美國和中國各一個).公司所有部門都取得了ISO9001:2008ISO14001:2004 認證.

日本西格瑪精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60X(CL)

 

特征:四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)

 

SFS 系列平臺是我們*新開發(fā)的,利用了彈性變形和壓電陶瓷驅(qū)動件的超精密定位平臺。其中,有部分產(chǎn)品內(nèi)置了位移傳感器可以實現(xiàn)閉環(huán)控制,可以實現(xiàn)20nm 的分辨率,90μm 行程,320μm 的手動粗調(diào)。

我們采用了無空行程的金屬彈性變形機構(gòu),以及5-6 倍的壓電陶瓷變形放大機構(gòu)。并采用我公司的超精密加工技術(shù)進行生產(chǎn)制造。

 

注意四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)

所有數(shù)據(jù)的測量溫度環(huán)境為攝氏20 ± 1 ℃。使用前,請仔細閱讀使用說明書和安裝說明書。

所有數(shù)據(jù)均為單個平臺的數(shù)據(jù),而非組裝后的復合體,“復合”平臺。

所有數(shù)據(jù)均為許用載荷內(nèi)的值,而且載荷在平臺中心,無偏載。

所有數(shù)據(jù)均為在上面板上的值。

行程為開環(huán)控制時的數(shù)據(jù)。

直動平臺的重復定位精度值是采樣時間為350μs 時的閉環(huán)控制時的值;對于轉(zhuǎn)動平臺和擺動平臺,則是開環(huán)控制時的值。

分辨率是使用FINE-01,503 時的數(shù)據(jù)。

采用FINE 控制器,改善了閉環(huán)控制時的直線性。

CL:采用位移傳感器的閉環(huán)控制平臺/ OP:無位移傳感器的開環(huán)控制平臺

規(guī)格:四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)

 

型號   

行程(粗調(diào)

行程(細調(diào))

自重
[kg]

承載能力
[N]

理論分辨率(開環(huán))]

分辨率(閉環(huán))

重復重復定位精度
[
μm]

Y軸方向直線度
[
μm]

Z軸方向直線度
[
μm]

SFS-60X(CL)

320±10% (μm)

90±10% (μm)

0.37

9.8 (1kgf)

1 (nm

20 (nm)

0.1

1

0.5

SFS-60YAW(OP

57±15% (分)

900±15% (秒)

0.31

9.8 (1kgf)

0.01 (秒)

SFS-60RP(OP)

25±15% (分)

215±15% (秒)

0.38

9.8 (1kgf)

0.005 (秒)

 四川成都供應日本SIGMA KOKI西格瑪光機精密(壓電陶瓷)平臺SFS-60YAW(OP)

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