日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER?(愛克斯·激光）
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產品名稱: 日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER?(愛克斯·激光）
產品型號:
產品展商: 日本SAKAGUCHI坂口電熱
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簡單介紹
日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER?(愛克斯·激光）
桌型尺寸的緊湊設計
加熱部分和控制部分為一體型，進行案頭試驗
由于激光加熱，大氣中直接加熱
低功率高瓦特密度實現(※)
真空加熱器必要時，選擇可以在艙室
(※)瓦特密度: 34 W /?（ε= 0.9
日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER?(愛克斯·激光）
日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER?(愛克斯·激光）
的詳細介紹
日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER®(愛克斯·激光）
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1/2インチ徑ウェハー加熱時
（500W 10秒後850℃以上 20秒で100℃以下）
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ステージ上にワーク設置
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レーザー加熱イメージ
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製品仕様一例
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定格
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AC100V 15A以內
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レーザ出力
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*大50W
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加熱雰囲気
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大気
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加熱面積
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φ 13mm
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ワークステージ
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φ 60mm(MAX)
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本體サイズ
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H580mm×W320mm×D470mm
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裝備品
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放射溫度計、USBカメラ、パソコン
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※透明基板は直接加熱できません日本SAKAGUCHI坂口電熱桌上型ExLASER®(愛克斯·激光）
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