日本USHIO牛尾準分子光照射單元準分子(Excimer)燈【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
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產品名稱: 日本USHIO牛尾準分子光照射單元準分子(Excimer)燈【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
產品型號: 【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
產品展商: 日本USHIO牛尾
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簡單介紹
日本USHIO牛尾準分子光照射單元準分子(Excimer)燈【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
日本USHIO牛尾準分子光照射單元準分子(Excimer)燈【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
日本USHIO牛尾準分子光照射單元準分子(Excimer)燈【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】
的詳細介紹
封入氙氣的準分子(Excimer)燈,
(誘電體屏障放電Excimer燈)
可有效放射波長180nm以下的VUV,
(真空紫外線)
達到超越以往的化學反應與反應速度。
特征
?單一波長、低溫處理
因為是單一波長,因此可選擇會引起化學反應的紫外線,
并可達到不使對象物產生非必要反應或熱的低溫處理。
?高效率
從電力轉換為光能源的效率高(172nm型的轉換率10%),即使低電力亦可產生大的能量。
?可瞬間亮燈滅燈
僅于必要時照射必要量的能量,因此具備「不需要快門」、
「實際上可延長使用壽命」等各種優點。
?安裝方向不受限制
燈的亮燈方向不受限制,可配合生產線做立面照射。
分光分布
半導體制程用裝置實例
液晶制程用裝置實例
主要用途
?HDD光碟洗凈
?阻劑剝離
?阻劑殘渣的剝離
?塑料基板的洗凈
?金屬表面的清洗與重組
?Low-k Cure
?PDP螢光體評估
?分析評估前的洗凈
?氣體分解
?形成氧化膜
?防止帶電
?乾燥
?玻璃膠膜的貼合
?纖維的改質
?有機EL封裝管的接合性提高
?有機EL的工作函數増加