基板尺寸 ：MAXΦ8Inch(150×150mm)
**互鎖：蓋可選，真空標準裝備
電源: AC100～240V 50/60Hz 5A
轉速（rpm）：0及20～5,000
滴下裝置：可選(*多可安裝2個臂）
外形尺寸(mm):503W×350H×580D
旋轉精度：±1rpm（負載時）
使用的真空源：-0.08～-0.1MPa
旋轉室內徑: Φ360mm
蓋：材質/亞克力
馬達: AC伺服電機
重量: 32kg
編程功能：100步長×10模式轉速、
時間(999.9sec)、
slopeposition調用編程No.
切換真空模式切換真空壓力等
顯示密鑰保護功能

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