日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優勢供應
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產品名稱: 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優勢供應
產品型號: AD-3000
產品展商: 日本USHIO牛尾
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簡單介紹
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優勢供應 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優勢供應
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching AD-3000四川成都優勢供應
的詳細介紹
腔室： 不銹鋼制
轉速： 0～3,000rpm
基板尺寸：Φ1 Inch～Φ12 Inch
（220×220mm）
互鎖： 真空吸附確認傳感器
腔室外蓋互鎖
噴嘴移動越位限制器
藥液壓力推送：加壓泵壓力推送式
藥液送出：噴灑式送出
（擺動噴嘴式）
電源： AC200V 3相 15A
步驟數目：48步
帶有跳過、復制功能
尺寸：720W×500H（910H）×520D
（mm/閥門打開時）
編程模式：10種模式
重量：60kg
工藝工序（標準）：顯影液：1系統（2噴嘴）
沖洗：1系統（2噴嘴）
后沖洗：1系統
主要可選項：藥液溫度管理系統
（加壓方式）
各種基板架
設置用工作臺
使用藥液：堿性顯影液
※規格可能會未經通知發生變更
