日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
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產品名稱: 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
產品型號: ED-3000
產品展商: 日本USHIO牛尾
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簡單介紹
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching 日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
日本USHIO牛尾顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching
的詳細介紹
腔室:SUS（氯乙烯）制
轉速:0～3,000rpm
基板尺寸:Φ1 Inch～Φ12 Inch
（220×220mm）
互鎖:真空吸附確認傳感器
腔室外蓋互鎖
噴嘴移動越位限制器
藥液壓力推送:加壓泵壓力推送式
藥液送出:噴灑式送出
（擺動噴嘴式）
電源:AC 200V 3相 15A
步驟數目:48步
帶有跳過、復制功能
尺寸:720W×500H（910H）×520D
（mm/閥門打開時）
編程模式:10種模式
重量:60kg
工藝工序:顯影液：1系統（2噴嘴）
（標準） 沖洗：1系統（2噴嘴）
后沖洗：1系統
主要可選項:藥液溫度管理系統
（加壓方式）
各種基板架
設置用工作臺
使用藥液:酸性顯影液
