產品介紹：

   采用非接觸空氣軸承機構的滑動零阻力的空氣靜壓式柔性執行部。通過與電空減壓閥（EV)的組合，實現細致精密的負荷控制。

行業

• 半導體制造工序（后工序）
• 安裝
• • 產品特點

  【滑動零阻力】
  采用完全非接觸設計，滑動零阻力，因此可實現高響應、與供給壓力成線性比例的推力控制。

  

  【潔凈】
  動作時完全非接觸，因此無發塵。

  
  

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