ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計

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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計

產(chǎn)品型號: SH200-A/R/E

產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

成都西野供應：ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計SH200-A/R/E

ULVAC愛發(fā)科熱陰極電離真空計 的詳細介紹

熱陰極電離真空計

傳感器類型

SH200系列

SH200-A/R/E

ULVAC

這是一款全新的換能器型真空計“G-TRAN系列多離子真空計”，可以連接不同量程的換能器。本產(chǎn)品為BA型電離真空計，可測量超高真空。我們在繼承傳統(tǒng)的大范圍壓力測量和低運行成本的概念的同時，進行了更加人性化的改進。

特征

可連接不同量程的測針：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應用選擇測針。
緊湊：與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了顯著的小型化（控制器體積減少了 56%），世界上*小的級別
可用性改進：通過連接到 PC/智能手機，可以進行設定點設置、狀態(tài)檢查等
產(chǎn)品陣容擴充：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)控燈絲的電量，可以提前通知燈絲壽命。
寬范圍壓力測量：可測量從大氣壓到高真空區(qū)域（1 x 10 ⁺⁵至 5 x 10 ^-8 Pa）（連接可選單元 SWU10-R 時）
精確的大氣壓測量：可確認大氣壓打開腔室（連接可選單元 SAU 時）

采用

用于半導體和電子元件等各種制造設備的高真空區(qū)域的過程控制
用于檢查具有許多工藝室的各種制造設備的高真空區(qū)域的極限壓力，例如在線型和單晶片型。
用于高真空和超高真空設備的壓力測量

規(guī)格

模型		SH200-A	SH200-R	SH200-E（預定發(fā)布）
規(guī)格		標準規(guī)格	串行通信規(guī)格	EtherCAT 規(guī)格
自適應多離子規(guī)傳感器		M-44 (NW16)、M-45 (NW25)、M-46 (ICF070)
可連接傳感器		多離子規(guī)傳感器：1 個皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個（選項）大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項）
重復精度 (N ₂ )		SH200單機模式：±2%
采樣時間		60ms 5 個移動平均線
測量值輸出		輸出電壓 DC 0-10V LOG 輸出 0.75V / 1位壓力轉換公式 V = 7.25 + 0.75 × (LogP-2) P = 10 ^ {(V-7.25) /0.75+2}
更新時間		60毫秒
控制輸入信號		FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF 使用開路集電極輸入，負邏輯 * FIL ON / OFF 信號根據(jù)模式使用不同。	――――	――――
控制輸出信號		傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發(fā)射電壓，燈絲功率監(jiān)測額定值：24V _MAX，50mA _MAX，飽和電壓 1V	――――	――――
串行通信規(guī)格		――――	RS232C / RS-485	EtherCAT
LED顯示屏		POWER / ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化）
		SET1：設定點1LED SET2：設定點 2LED SET3：設定點 3LED	――――	――――
發(fā)射電流		1mA（1×10 ^-3 Pa以下）、10μA（1×10 ^-3 Pa以上）
脫氣		電子沖擊解吸法（電子轟擊）1mA，330V
傳感器耐壓		2 x 10 ⁺⁵ Pa（優(yōu)良壓力） * 法蘭和卡箍等承受壓力需要單獨考慮。
傳感器內部容積		17cm ³ (M-44), 19cm ³ (M-45), 17cm ³ (M-46)
工作溫度限制		10-50℃
工作濕度范圍		15-80%（但無冷凝）
貯存溫度		-20～65℃（不通電時不結露）
知識產(chǎn)權保護等級		IP30
電源電壓		DC20-28V（紋波、噪聲1%以下）、8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub 15針（M2.6螺絲）
大量的		控制器：約 280g 觸控筆（M-44、M-45）：80g，（M-46）：300g
外形尺寸 W × D × H		69mm x 63mm x 90mm（控制器部分）
符合標準		行政長官
可選的	多離子規(guī)傳感器	M-44 (NW16), M-45 (NW25), M-46 (ICF070) 材質：燈絲 1,2 -Ir / Y ₂ O ₃ Coat 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar / Ni電鍍
	皮拉尼規(guī)	SWU10-R * 與傳統(tǒng) SPU 兼容
	皮拉尼規(guī)傳感器	SWP-16（NW16）、SWP-25（NW25）、SWP-R1/8（R1/8）、SWP-P18（Φ18管端）、SWP-P15（Φ15管端）材質：燈絲-Pt、其他- BS/Ni、電鍍、Ni、焊錫
	氣壓傳感器	SAU (NW16) 材質：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m
	顯示單元	1CH：ISG1（使用24V直流電源）
	顯示單元電纜	SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書

各模式規(guī)格

SH200-A / SH200-R / SH200-E可從三種使用方式中進行選擇：多油表單模式、與吡拉尼計的組合模式以及與吡拉尼計和氣壓傳感器的三組組合模式。

模式	SH200-A / SH200-R / SH200-E 獨立模式	SH200-A / SH200-R / SH200-E + SWU10-R 組合模式	SH200-A / SH200-R / SH200-E + SWU10-R + SAU 組合模式
測量壓力范圍	5.0 × 10 ^-8 ~ 1.0 × 10 ⁺¹ Pa	5.0 × 10 ^-8～ 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa	5.0 × 10 ^-8～ 1.0 × 10 ⁺⁵ Pa
測量精度	5.0×10 ^-8～ 1.0×10 ⁺¹ Pa： ±15%	5.0 × 10 ^-8～ 4.0 × 10 ^-1 Pa：± 15% 4.0 × 10 ^-1～ 3.0 × 10 ⁺⁰ Pa：± 10 ～ ± 15% 3.0 × 10 ⁺⁰～ 1.0 × 10 ⁺⁴ Pa：± 10 % 1.0 × 10 ⁺⁴～ 1.0 × 10 ⁺⁵帕：±20%	5.0 × 10 ^-8～ 4.0 × 10 ^-1 Pa：± 15% 4.0 × 10 ^-1～ 3.0 × 10 ⁺⁰ Pa：± 10 ～ ± 15% 3.0 × 10 ⁺⁰～ 1.0 × 10 ⁺⁴ Pa：± 10 % 1.0 × 10 ⁺⁴～ 3.0 × 10 ⁺⁵ Pa：± 3% FS (3.0 × 10 ⁺³ Pa ?參考溫度25℃)
連接圖
測量壓力范圍圖像	三重組合用于需要確認“大氣壓力”的情況，例如當腔室打開時。