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ULVAC愛發科冷陰極電離真空計
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如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱:
ULVAC愛發科冷陰極電離真空計
產品型號:
SC1
產品展商:
ULVAC愛發科
產品文檔:
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簡單介紹
成都西野供應:ULVAC愛發科冷陰極電離真空計SC1
ULVAC愛發科冷陰極電離真空計
的詳細介紹
冷陰極電離真空計
SC1
SC1
ULVAC
G-TRAN系列是以(1)降低設備成本、(2)節省空間、(3)節省布線的概念開發的真空計,用于集中過程控制和各種設備的小型化。..
它由一個傳感器單元和一個顯示單元的基本單元組成,可以根據應用進行組合。
特征
測針與測量電路一體化結構
模擬輸出和設定值輸出
獨立的偽對數輸出和設定值輸出(顯示單元)
采用 48 x 96 mm DIN 標準尺寸(顯示單元)
采用
用于半導體和電子零件等各種制造設備的過程控制
用于熔爐等各種工業設備的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有多個工藝室的各種制造設備的工藝控制
規格
類型
傳感器單元
模型
SC1
自適應觸控筆
C-21、23、24、25
測量壓力范圍
1.0 × 10
-5
至 1.0 Pa
測量精度
+ 100%, -50% (1.0 x 10
-4
到 1.0 x 10
-1
)
工作溫度限制
10-40℃
測量值輸出
非線性輸出:DC0V 至 10V(HV-OFF 時為 10V)
SET POINT1 / 2 調整輸出
非線性輸出:DC0-10V
控制輸入信號
高壓開/關
輸出信號
集電極開路,負邏輯
控制輸出信號
放電確認/設定點 1/2
LED顯示屏
功率、高壓、壓力保護、設定點 1/2
電源
DC24V±2V,150mA
輸入/輸出連接器
D-sub-15 針(M2.6 螺絲)
身體質量
430g(不含觸控筆)
配件
1組輸入/輸出連接器
1份快速手冊
* IO、模擬地和電源地沒有隔離。
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