成都西野：ULVAC愛發科氣體分析儀

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產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發科氣體分析儀

產品型號: CGM2-051

產品展商: ULVAC愛發科

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簡單介紹

成都西野：ULVAC愛發科氣體分析儀CGM2-051

成都西野：ULVAC愛發科氣體分析儀 的詳細介紹

高壓工藝（濺射工藝）

Qulee CGM2系列

ULVAC

ULVAC 的新型殘余氣體分析儀/工藝氣體監測儀 (RGA)，可在高壓（1 Pa 或更小）下實現高精度和高分辨率，具有簡單性和易用性。
引入過程監視器的新標準，體現各種生產線上的設備工程師的聲音。
濺射設備的過程控制（質量改進、良率改進）的理想選擇。

M / △ M = 1M (10% PH)

模型	CGM2-051	CGM2-052
質量分離法	四極質譜儀
質量數范圍	1-50 畝
探測器	法拉第杯	二次電子倍增器/ 法拉第杯
靈敏度	0.1uA/Pa	0.1毫安/帕
*小檢測分壓	1x10 ^-7帕	1x10 ^-10帕
*大工作壓力	2Pa	2Pa (FC) 1x10 ^-2 Pa (SEM)
線性度	1Pa
總壓測量功能	可
一鍵檢漏功能	是 / He / H ₂ O / N ₂ / O ₂ / 任何氣體
電源電壓	DC24V±10% 50W
*高烘烤溫度（連接傳感器單元時）	120℃
*高烘烤溫度（傳感器單元安裝/拆卸時）	250℃
工作溫度限制	10-40℃
界面	以太網
軟件	Qulee QCS Ver.4.0 或更高版本（兼容Windows 7/8/10）
符合標準	行政長官