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產品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發科氣體監測儀
產品型號: CGM2-052
產品展商: ULVAC愛發科
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
成都西野供應：ULVAC愛發科氣體監測儀CGM2-052
成都西野供應：ULVAC愛發科氣體監測儀
的詳細介紹
高壓工藝（濺射工藝）
Qulee CGM2系列
CGM2-052
ULVAC
ULVAC 的新型殘余氣體分析儀/工藝氣體監測儀 (RGA)，可在高壓（1 Pa 或更小）下實現高精度和高分辨率，具有簡單性和易用性。
引入過程監視器的新標準，體現各種生產線上的設備工程師的聲音。
濺射設備的過程控制（質量改進、良率改進）的理想選擇。
特征
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濺射工藝的理想選擇
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顯示一體化設計：無需個人電腦即可測量
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操作簡單——一鍵式功能......任何人都可以輕松操作，無需復雜的操作
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過程監控無需差動排氣系統...可測量1Pa以下，可節省空間
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加強檢漏功能，可進行高靈敏度檢漏
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總壓力測量是可能的
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Qulee QCS 軟件是標準設備
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兼容 CE 標準
采用
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用于濺射設備的殘留氣體分析、過程監控和雜質 (H 2 O) 管理
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用于濺射設備的泄漏測試
規格
解決
M / △ M = 1M (10% PH)
