高性能工藝
Qulee HG M2系列
ULVAC
ULVAC 的新型殘余氣體分析儀 Qulee 系列(兼容以太網通信)優異模型機“Qulee HGM2”實現了的簡單性和易用性。
憑借2.5 x 10 -6 A/Pa(法拉第杯)的高靈敏度,我們可以滿足從各種研發應用到真空設備過程管理的所有需求。
作為優異功能實現*高靈敏度 2.5 x 10-6 A/Pa
支持以太網通訊
無需PC即可測量
連接傳感器單元時可進行高達 250°C 的高溫烘烤(傳感器單元分離狀態:300°C)
采用電子沖擊解吸法
輕松更換燈絲、離子源和二次電子倍增管
離子源和二次電子倍增管的預防性維護
配備分析儀追溯功能(磚利號5016031)
可進行氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試、堆積測試
可測量總壓力(電離真空計功能)
軟件作為標準安裝(與 Windows 7/8/10 兼容)
兼容 CE 標準
模型 | HGM2-202 | HGM2-302 | ||
質量分離法 | 四極質譜儀 | |||
質量數范圍 | 1~200畝 | 1~300畝 | ||
解決 | M / ΔM = 1M (10% PH) | |||
探測器 | 法拉第杯 | 二次電子雙管 | 法拉第杯 | 二次電子雙管 |
靈敏度 | 2.5 × 10 ?? | 4安/帕 | 2.0 × 10 ?? A / Pa @ 1.0mA | 4安/帕 |
*小檢測分壓 | 10??帕單位 | 10-13帕單位 | 10??帕單位 | 10-13帕單位 |
*大規格壓力 | 1 × 10 ?? 帕 | |||
燈絲 | lr / Y?O?2 | |||
電離電壓 | 25 ~ 70 eV(默認:70 eV) | |||
發射電流 | 0.1mA / 0.5mA / 1.0mA(默認為0.5mA) | |||
脫氣 | 電子沖擊解吸法 330V, 5mA | |||
總壓測量功能 | 是 / 10 ?? ~ 10 ?? Pa | |||
一鍵式功能 | 是/He/H?O/N?/O?/任何氣體 | |||
一鍵檢漏功能 | 可 | |||
電源電壓 | DC24V±10% 50W | |||
質量(傳感器單元/分析管) | 2.4公斤/0.81公斤 | |||
*高烘烤溫度(連接傳感器單元時) | 250℃ | |||
*高烘烤溫度(傳感器單元安裝/拆卸時) | 300℃ | |||
工作溫度限制 | 10~40℃ | |||
工作濕度范圍 | 15-80%(但無冷凝) | |||
知識產權保護等級 | IP30(傳感器單元) | |||
電源連接器 | MSTBV2.5 / 3-STF-5.08 | |||
通訊接口 | 以太網規格 | |||
外部 I/O 連接器 | D-sub 15 針 / M2.6 螺絲(選項) | |||
通訊連接器 | RJ45 | |||
外部輸入/輸出信號 | 模擬輸入(0-10V)x 2,外部聯鎖輸入(壓力保護)x 1,錯誤輸出x 1(FIL,SEM,RF異常),分壓設定點輸出x 2(異常,警告),全壓設定點輸出 x 1 | |||
軟件 | Qulee QCS Ver.4.0 或更高版本(兼容Windows 7/8/10) | |||
標準配件 | 電源連接器、通信電纜(3m)、軟件(安裝光盤)、使用說明書(光盤) | |||
選項(參見 Qulee 選項目錄) | 通信電纜(10、15、20、30、50m)、AC 適配器、USB-LAN 適配器、交換集線器(8 或 16 端口)、輸入/輸出連接器、護套加熱器、手提箱 | |||
符合標準 | 行政長官 |
* 使用交流電源時,請務必準備好交流適配器(參見 Qulee 選件目錄)。