ULVAC愛發(fā)科氣體過(guò)程監(jiān)測(cè)儀
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產(chǎn)品名稱: ULVAC愛發(fā)科氣體過(guò)程監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào): RGM2-302
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科氣體過(guò)程監(jiān)測(cè)儀RGM2-302
ULVAC愛發(fā)科氣體過(guò)程監(jiān)測(cè)儀
的詳細(xì)介紹
反應(yīng)過(guò)程
Qulee RGM2系列
RGM2-302
ULVAC
反應(yīng)過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)儀 Qulee RGM2-202 / RGM2-302 是一種帶有差分排氣系統(tǒng)的過(guò)程監(jiān)測(cè)儀，支持 Qulee 系列的蝕刻和 CVD 等反應(yīng)過(guò)程。
由于 ULVAC 獨(dú)特的離子源和排氣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，它對(duì)反應(yīng)氣體具有優(yōu)異的耐腐蝕性，可長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量。
特征
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測(cè)量質(zhì)量數(shù)范圍 1 至 300 amu
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反應(yīng)過(guò)程中可長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量
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通訊接口，以太網(wǎng)
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采用帶磁場(chǎng)的 Claude 離子源
軟電離可減少氣體離解，并防止由于高靈敏度電離室中的熱反應(yīng)引起的分解和吸附。
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緊湊型流路控制閥
縮短了處理室到離子源的距離，可實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)和拆卸。
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10 -6 至 13kPa 在很寬的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量（取決于孔板選擇）
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無(wú)需PC即可測(cè)量
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一鍵式功能（任何人都可以輕松操作，無(wú)需復(fù)雜操作）
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連接傳感器單元后，可進(jìn)行高達(dá) 120°C 的高溫烘烤。
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配備離子源和二次電子倍增管預(yù)防性維護(hù)分析儀追溯功能（磚利申請(qǐng)中）
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可進(jìn)行氦氣泄漏測(cè)試、空氣泄漏測(cè)試、堆積測(cè)試
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軟件作為標(biāo)準(zhǔn)安裝（與 Windows 7/8/10 兼容）
采用
蝕刻/CVD設(shè)備
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監(jiān)測(cè)過(guò)程中的反應(yīng)氣體
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用于蝕刻和清潔過(guò)程的端點(diǎn)監(jiān)視器
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殘余氣體測(cè)量
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泄漏測(cè)試
