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產品資料

成都西野大量供應:ULVAC愛發科真空閥

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野大量供應:ULVAC愛發科真空閥
產品型號: VFR-400
產品展商: ULVAC愛發科
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簡單介紹

成都西野大量供應:ULVAC愛發科真空閥VFR-400


成都西野大量供應:ULVAC愛發科真空閥  的詳細介紹

擺閥

雙作用

VFR 系列

視覺幀率

ULVAC

ULVAC開創技術開發的大型擺閥(閘閥)。
兼容顯示成膜設備等大型真空設備。

特征

  • ULVAC的獨特
    機構 采用不具有機械鎖定機構的獨特密封機構和反向壓力消除機構
    導致產生顆粒的滑動部件極少的結構
    開/關操作或密封過程中幾乎沒有沖擊(振動)。
  • 可維護性優良
    的裝置,無需從泵上拆下閥門即可裝卸閥殼。從
    拆下外殼的狀態下,只需卸下一個螺栓即可裝卸閥體單元。
  • 設計安裝在任何地方
    VFR系列可以360度安裝在任何姿勢

采用

  • 大型顯示器制造設備
  • 有機EL制造設備
  • 其他真空設備的主閥和隔斷閥

規格

模型 VFR-400 VFR-500
標稱口徑 Φ400mm Φ500mm
連接法蘭(相當于 JIS B 2290) VF400 VF500
開合規格 2個職位
開閉操作原理 壓縮空氣驅動型
開閉動作時間(2位規格) 8秒或更短 12秒或更短
閥板密封性能 支持反向壓力
閥板上可密封的*大壓差(正壓時) 0.12兆帕
閥板上可密封的*大壓差(反壓時) 0.12兆帕
開啟和關閉允許的*大壓差(正壓下) 0.5千帕
開啟和關閉允許的*大壓差(在反向壓力下) 0.5千帕
開路電導 50000L/s 90000L/s
工作壓力范圍 1.0×10-5Pa~0.12MPa(優良)
允許烘烤溫度(靜止) 閥體 120℃以下
圓筒 80℃以下
工作環境溫度 10-80℃
工作液溫度 10-80℃
氣缸供給壓力 空氣壓力 0.5-0.7MPaG
壓縮空氣供應直徑 Φ8管件
維護周期 100,000 次
安裝姿勢 自由
主要部件材料 閥體 AC4CH-T6
閥板 AC4CH-T6
密封件材料 真空側 氟橡膠
油脂 Z300潤滑脂
總質量 98公斤 155公斤
面對面尺寸 150mm 170mm

尺寸圖

  • VFR-400VFR-400_jp_size.png
  • VFR-500VFR-500_jp_size.png
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