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產品資料

成都西野供應：ULVAC愛發科擺閥

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野供應：ULVAC愛發科擺閥
產品型號: VFR-400
產品展商: ULVAC愛發科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

ULVAC開創技術開發的大型擺閥（閘閥）。 兼容顯示成膜設備等大型真空設備。


成都西野供應：ULVAC愛發科擺閥  的詳細介紹

擺閥

雙作用

VFR 系列

VFR-400

ULVAC

ULVAC開創技術開發的大型擺閥（閘閥）。
兼容顯示成膜設備等大型真空設備。

特征

  • ULVAC的獨特
    機構 采用不具有機械鎖定機構的獨特密封機構和反向壓力消除機構
    導致產生顆粒的滑動部件極少的結構
    開/關操作或密封過程中幾乎沒有沖擊（振動）。
  • 可維護性優良
    的裝置，無需從泵上拆下閥門即可裝卸閥殼。從
    拆下外殼的狀態下，只需卸下一個螺栓即可裝卸閥體單元。
  • 設計安裝在任何地方
    VFR系列可以360度安裝在任何姿勢

采用

  • 大型顯示器制造設備
  • 有機EL制造設備
  • 其他真空設備的主閥和隔斷閥

規格

模型 VFR-400 VFR-500
標稱口徑 Φ400mm Φ500mm
連接法蘭（相當于 JIS B 2290） VF400 VF500
開合規格 2個職位
開閉操作原理 壓縮空氣驅動型
開閉動作時間（2位規格） 8秒或更短 12秒或更短
閥板密封性能 支持反向壓力
開路電導 50000L/s 90000L/s
工作壓力范圍 1.0×10 -5 Pa～0.12MPa（優良）
允許烘烤溫度（靜止） 閥體：120℃以下
氣缸：80℃以下
工作環境溫度 10-80℃
工作液溫度 10-80℃
氣缸供給壓力 空氣壓力 0.5-0.7MPaG
壓縮空氣供應直徑 Φ8管件
維護周期 100,000 次
安裝姿勢 自由
主要部件材料 閥體：AC4CH-T6
閥板：AC4CH-T6
密封件材料 真空側：氟橡膠
油脂 Z300潤滑脂
總質量 98公斤 155公斤
面對面尺寸 150mm 170mm

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