真空角閥
手動型
VLH系列
阿爾巴克技術
模型 | VLH-MB |
閥板允許*大壓差(正壓/反壓)MPa | 0.10 |
開閥時*大允許壓差(正壓/反壓)MPa | 0.10 |
閥板密封方式 | 〇 戒指 |
軸封方式 | 波紋管 |
驅動系統 | 手動的 |
泄漏量(外部)* 1 Pa ? m 3 / s | ≤ 1.0E-10 |
泄漏量(內部)* 1 Pa ? m 3 / s | ≤ 1.0E-10 |
工作壓力范圍(絕壓)Pa | 大氣壓~1.0E-8 |
允許烘烤溫度(靜止)* 2 ℃ | 主體:150 * 3,驅動單元:70 |
工作環境溫度℃ | 5 到 70 |
工作液溫度℃ | 5 到 70 |
升溫降溫速率℃/h | ≤30 |
使用環境 氣氛 | 非腐蝕性氣氛 |
使用的流體 | 非腐蝕性流體 |
氣缸供給壓力氣壓MPaG | - |
保證操作次數* 4 | 10,000 |
駕駛姿勢 | 自由 |
打開/關閉傳感器 | - |
真空側主要部件材料 | SUS304 |
大氣側主要部件材料 | SUS304、AL-6061(陽極氧化鋁) |
波紋管材料 | SUS316L |
密封部材質(真空側) |
外部密封:金屬 內部密封:FKM |
油脂(真空側) | 非格里斯 |
衣架安裝部分 | 無* 5 |
RoHS | 一致 |
* 1 泄漏量不包括環的滲透。另外,在環軸封的情況下,開閉動作時的外部泄漏量不受限制。
* 2 烘烤過程中請勿打開或關閉。
* 3 VLP-MB、VLH-MB 主機(打開時):200°C,主機(關閉時):150°C
*4 詳情請參閱使用說明書。
* 5 VLP-SA350JH 在主體上附有一個吊架(吊環螺栓 M12 x 2)。