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產品資料

ULVAC愛發科大容量直流電源

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: ULVAC愛發科大容量直流電源
產品型號: DC-30-44H-E
產品展商: ULVAC愛發科
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簡單介紹

濺射用30kW高阻抗規格直流電源。


ULVAC愛發科大容量直流電源  的詳細介紹

大容量直流電源

DC-30-44H-E

ULVAC

濺射用30kW高阻抗規格直流電源。

特征

  • 通過高速電弧切斷電路實現超低電弧能量。有助于提高生產力和產量。
  • 1200V輸出對應高阻抗負載。
  • 支持 EtherCAT,有助于設備的布線節省。

采用

  • FPD用濺射設備
  • 半導體濺射設備
  • 觸控面板濺射裝置
  • 工業鍍膜濺射設備

規格

模型 DC-30-44H-E
輸入規格 輸入電壓 三相 AC396V 至 484V
輸入容量 41.5kVA以下
輸出規格 *大額定功率 30kW
額定電流 55A
額定電壓 -1200V
點火電壓 -1500V
異常放電控制 檢測到異常放電時高速滅弧電路切斷
控制 控制方法 恒功率控制(P控制)/恒流控制(I控制)/恒壓控制(V控制)
控制精度 恒功率控制(P控制):額定輸出的±0.5%以下或設定值的±1%,取較大者
恒流控制(I控制):額定輸出的±1%以下或±2%設定值的較大者
恒壓控制(V控制):額定輸出的±1%以下或設定值的±2%,取較大者
控制保證范圍 10-100% 額定功率
外部控制 模擬/數字,RS-232C 或 485,EtherCAT
并聯運行 *多 12 個單位
冷卻方式 強制風冷
外形尺寸 W × D × H 483 x 650 x 177 毫米(不包括突出部分)
大量的 45公斤
符合標準 CE / SEMI F47 / RoHS指令

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