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產品資料

成都西野：ULVAC愛發科小容量直流電源

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發科小容量直流電源
產品型號: DC-4
產品展商: ULVAC愛發科
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簡單介紹

DC-2 和 DC-4 是用于濺射的直流電源，輸出功率為 2kW 和 4kW。 高控制精度提供出色的可重復性并實現更高質量的過程。


成都西野：ULVAC愛發科小容量直流電源  的詳細介紹

小容量直流電源

DC-4

ULVAC

DC-2 和 DC-4 是用于濺射的直流電源，輸出功率為 2kW 和 4kW。
高控制精度提供出色的可重復性并實現更高質量的過程。

特征

  • 高控制精度
    即使在 10% 或更低的低功率范圍內，也可實現設定值 ±1% 的高精度輸出
  • 寬精度保證
    1-100% 寬功率精度保證
  • 輕巧省空間
    輕巧省空間的設計，具有出色的可安裝性。
  • 無需冷卻水
    由于采用強制風冷方式，無需冷卻水。

  • 反饋設計作為高度可靠的設備制造商積累的專有技術

采用

  • 研發用濺射設備
  • 各種成膜設備的偏置電源

規格

模型 DC-2 DC-4
輸入規格 輸入電壓 AC208V / 220V
波動范圍 AC180-242V
相數、頻率 三相 50 / 60Hz
輸入容量 3.5kVA 6.2kVA
輸出規格 *大額定功率 2千瓦 4千瓦
額定電流 5A 10A
額定電壓 800V
輸出極性 負極性
異常放電控制 諧振截止或逆變器截止
控制 控制方法 恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒壓控制（V控制）
控制精度 設定值的±1% 
（在我們指定的電阻值下）
控制保證范圍 1-100%額定功率值
并聯運行 沒有
外部控制 模擬/數字，RS-232C 或 RS-485
冷卻方式 強制風冷
外形尺寸（寬 x 深 x 高） 241 毫米 x 610 毫米 x 133 毫米（不包括突出部分）
大量的 15公斤
符合標準 CE / SEMI F47 / RoHS指令

工作環境溫度 5°C-40°C（無冷凝）
工作環境 避免陽光直射、高溫、灰塵、振動，不含腐蝕性氣體。

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