成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGN-406M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
金屬膜用EB槍
EGN系列
EGN-406M
ULVAC
EGN 系列是新開發(fā)的用于金屬蒸發(fā)的電子束蒸發(fā)源,其重點(diǎn)是提高可維護(hù)性。
采用平頂結(jié)構(gòu),減小了電子束蒸發(fā)源上的成膜面積,可維護(hù)性高。
特征
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采用平頂結(jié)構(gòu),電子束蒸發(fā)源上的成膜面積小,清洗容易。
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通過采用新的發(fā)射器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)的相比,零件數(shù)量減少了60%,并且易于組裝。
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可以選擇用于金屬沉積的*佳帶狀光束和用于氧化物/化合物的*佳點(diǎn)束。
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反饋設(shè)計(jì)作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)