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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGN-406M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍


成都西野供應(yīng):ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍  的詳細(xì)介紹

金屬膜用EB槍

EGN系列

EGN-406M

ULVAC

EGN 系列是新開發(fā)的用于金屬蒸發(fā)的電子束蒸發(fā)源,其重點(diǎn)是提高可維護(hù)性。
采用平頂結(jié)構(gòu),減小了電子束蒸發(fā)源上的成膜面積,可維護(hù)性高。

特征

  • 采用平頂結(jié)構(gòu),電子束蒸發(fā)源上的成膜面積小,清洗容易。
  • 通過采用新的發(fā)射器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)的相比,零件數(shù)量減少了60%,并且易于組裝。
  • 可以選擇用于金屬沉積的*佳帶狀光束和用于氧化物/化合物的*佳點(diǎn)束。
  • 反饋設(shè)計(jì)作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)

采用

  • 用于電子束沉積的蒸發(fā)源

規(guī)格

模型 EGN-206M EGN-406M
電子束偏轉(zhuǎn)角 270° 270°
坩堝數(shù)量 6 6
坩堝容量 20cc 40cc
冷卻水量 10升/分鐘 10升/分鐘
外形尺寸 W × D × H 267 毫米 x 343 毫米 x 150 毫米 267 毫米 x 343 毫米 x 150 毫米
重量 28公斤 28公斤
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