成都西野供應(yīng):ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱(chēng): 成都西野供應(yīng):ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號(hào): EGL-35M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍
成都西野供應(yīng):ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
金屬膜用EB槍
EGL系列
EGL-35M
ULVAC
電子束蒸發(fā)源 EGL-35M 是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進(jìn)。EGL-35M有兩個(gè)容量為40cc(*大輸入功率10kW)的坩堝和兩個(gè)容量為10cc(*大輸入功率6kW)的坩堝(在標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的情況下),任何多層薄膜沉積都是可能的。
特征
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通過(guò)采用容量為40cc和10cc的4點(diǎn)切換式爐床,可以沉積多層膜。
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由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn),二次電子對(duì)沉積材料的影響極小。
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通過(guò)掃描X軸和Y軸上的束斑,即使是可升華的物質(zhì)也可以順利蒸發(fā),消除挖掘現(xiàn)象。
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由于電子束的270°偏轉(zhuǎn),它不會(huì)暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中,燈絲壽命長(zhǎng)。
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由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸,因此很容易更換燈絲和絕緣體。
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可選裝爐床位置檢測(cè)機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)爐床旋轉(zhuǎn)自動(dòng)化。