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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng):ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍

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產(chǎn)品名稱(chēng): 成都西野供應(yīng):ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號(hào): EGL-35M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

成都西野供應(yīng):日本ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍


成都西野供應(yīng):ULVAC愛(ài)發(fā)科金屬膜用EB槍  的詳細(xì)介紹

金屬膜用EB槍

EGL系列

EGL-35M

ULVAC

電子束蒸發(fā)源 EGL-35M 是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進(jìn)。EGL-35M有兩個(gè)容量為40cc(*大輸入功率10kW)的坩堝和兩個(gè)容量為10cc(*大輸入功率6kW)的坩堝(在標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的情況下),任何多層薄膜沉積都是可能的。

特征

  • 通過(guò)采用容量為40cc和10cc的4點(diǎn)切換式爐床,可以沉積多層膜。
  • 由于電子束被電磁場(chǎng)偏轉(zhuǎn),二次電子對(duì)沉積材料的影響極小。
  • 通過(guò)掃描X軸和Y軸上的束斑,即使是可升華的物質(zhì)也可以順利蒸發(fā),消除挖掘現(xiàn)象。
  • 由于電子束的270°偏轉(zhuǎn),它不會(huì)暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中,燈絲壽命長(zhǎng)。
  • 由于發(fā)射器組件可以很容易地安裝和拆卸,因此很容易更換燈絲和絕緣體。
  • 可選裝爐床位置檢測(cè)機(jī)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)爐床旋轉(zhuǎn)自動(dòng)化。

規(guī)格

加速電壓 -4kV 至 -10kV 直流
發(fā)射電流 (MAX) 1.0A MAX (at-10kV)
*大輸入功率 10kW(40cc坩堝)、6kW(10cc坩堝)
X軸偏轉(zhuǎn)線圈 -0.4A ~ -3.5A MAX -18V DC
約 2.6Ω (at 20 ℃)
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈 0A to ± 1.2A MAX ± 12V DC
約 5.8Ω (at 20 ℃)
燈絲 0V-12V AC *大 40A
數(shù)字
容量 40cc x 2、10cc x 2(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格)
尺寸 50Φ×41Φ×25H、32Φ×24Φ×15H
光束偏轉(zhuǎn)角 270°
有效蒸發(fā)角 90°以上
沉積率 1.6μm/min以上(A|8kW,250H正上方一半)
冷卻水量 哈斯 10L/min以上0.7Mpa(max)
線圈 2L/min以上0.7Mpa(max)
水溫 15℃~25℃
Haas 職位發(fā)布機(jī)制 觸點(diǎn)數(shù)量:NO 4 個(gè)觸點(diǎn)
(選項(xiàng)) 容量:MAX 1A,50V DC
外形尺寸 170W x 240D x 156H 不包括突出部分
重量 約18公斤
適用電源 HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
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