特征

• 通過采用大容量 110cc 爐床，可以進行大量氣相沉積。
• 由于電子束被電磁場偏轉，二次電子對蒸鍍材料的影響極小。
• 通過在X軸和Y軸方向掃描束斑，即使是可升華的物質也可以順利蒸發，消除了局部挖掘現象。（擁有日本磚利 831485 和 843447）
• 由于電子束 270° 偏轉，燈絲具有較長的使用壽命，而不會暴露在蒸發材料的蒸汽中。
• 由于發射器組件可以很容易地安裝和拆卸，因此可以更換燈絲、絕緣體等。