成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
產(chǎn)品型號: EGL-80M
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡單介紹
成都西野供應(yīng)：日本ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
成都西野供應(yīng)：ULVAC愛發(fā)科金屬膜用EB槍
的詳細(xì)介紹
金屬膜用EB槍
EGL系列
EGL-80M
ULVAC
EGL-80M 電子束蒸發(fā)器是基于 ULVAC 多年積累和成熟的技術(shù)在性能和可靠性方面的改進(jìn)。
該蒸發(fā)源具有 4 點(diǎn)可切換爐床，*大輸入功率為 16 kW。
由于坩堝容量高達(dá)每片110cc，因此可以高速沉積厚膜。
特征
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采用大容量 110cc 4 點(diǎn)開關(guān)式爐床，可大量沉積多層膜。
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由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對沉積材料的影響極小。
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通過掃描 X 軸和 Y 軸上的光束點(diǎn)，即使是為了凈化物質(zhì)，也可以消除挖掘現(xiàn)象，并且可以順利進(jìn)行蒸發(fā)。（歸日本 831485、843447 所有）
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由于電子束的270°偏轉(zhuǎn)，它不會(huì)暴露在蒸發(fā)材料的蒸汽中，燈絲壽命長。
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由于燈絲座可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換燈絲和絕緣體。
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采用水冷式電磁線圈，可在高溫環(huán)境下連續(xù)運(yùn)行。
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可選裝爐床位置檢測機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)爐床旋轉(zhuǎn)自動(dòng)化。
