特征

• 采用坩堝容量為2.9cc的4點切換式爐床，可以進行任意多層膜的成膜。
• 電子束偏轉225°，使其不暴露于蒸發材料上面，燈絲壽命長。
• 由于電子束被電磁場偏轉，二次電子對沉積材料的影響很小。
• 通過在X軸和Y軸方向掃描束斑，即使是可升華的物質也可以順利蒸發，消除了局部挖掘現象。
• 由于發射器組件可以很容易地安裝和拆卸，因此很容易更換耗材，例如燈絲和絕緣體。