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產品資料

成都西野：ULVAC愛發科小型蒸發設備

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發科小型蒸發設備
產品型號: VPC-061
產品展商: ULVAC愛發科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發設備。 適用于小基板尺寸的基礎研究開發等實驗用途。


成都西野：ULVAC愛發科小型蒸發設備  的詳細介紹

小型蒸發設備

VPC 系列

VPC-061

ULVAC

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發設備。
適用于小基板尺寸的基礎研究開發等實驗用途。

特點

  • 桌面緊湊型，可節省安裝空間。
  • 玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。

規格

型式 VPC-061
真空性能 極限壓力 1.3×10-３Pa 
6.6×10-４Pa（液體氮氣使用時）
排氣時間 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液體氮氣使用時）
真空槽 真空槽 玻璃鐘罩（內徑Φ150mm×高200mm)
饋通圈 3口(底面3)
基板推薦尺寸?*大尺寸※1 □25mm ? □50mm（Max）
電源系統統 蒸發電極構成 1點式
蒸發電源?數量 SEREM PSE-150C?1 式 
0～10V 150A（Max)
排氣系統統 主泵 油擴散泵（空冷）　50L/sec
液體氮氣捕集器 有
補助泵 油回轉泵 20L/min
油霧捕集器 選項
操作系統 主閥 蝶閥
補助閥 三通閥
自動泄露閥 ー
操作 手動
控制系統 皮拉尼真空計 選項
電離真空計 選項
設置 *大尺寸 (本體) 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
電源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量　　　　本體 28kg
電源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。

Utility

型式 VPC-061
所要時間/td> 本體 100V Single phase 50/60Hz 0.63kVA
電源 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 D種 （接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠帶帽電纜 （帶插頭） 2m
Power supply　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m

尺寸圖

zu_vpc061.gif

蒸發電源　SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽內部構成

基本構成

zu_vpc060_060a_fc.gif

可選配件

●請點擊查看各個選項

zu_vpc061_op.gif

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