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產(chǎn)品資料

成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置
產(chǎn)品型號: VPC-061A
產(chǎn)品展商: ULVAC愛發(fā)科
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。 適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。


成都西野：ULVAC愛發(fā)科小型蒸著裝置  的詳細(xì)介紹

小型蒸發(fā)設(shè)備

VPC 系列

VPC-061A

ULVAC

將管架上的主泵?輔助泵?閥門配管?電氣系統(tǒng)?圧力測量口等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

特點(diǎn)

  • 桌面緊湊型，可節(jié)省安裝空間。
  • 玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
  • 停電時會自動開啟泄露閥，以保護(hù)主泵。

規(guī)格

型式 VPC-061A
真空性能 極限壓力 1.3×10-３Pa 
6.6×10-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r）
排氣時間 4.0×10-３Pa/20min
1.3×10-３Pa/20min（液體氮?dú)馐褂脮r）
真空槽 真空槽 玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ150mm×高200mm)
饋通圈 3端口(底面3)
基板推薦尺寸?*大尺寸※1 □25mm ? □50mm（Max）
電源系統(tǒng) 蒸發(fā)電極構(gòu)成 1點(diǎn)式
蒸發(fā)電源?數(shù)量 SEREM PSE-150C?1 式 
0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng) 主泵 油擴(kuò)散泵（空冷）　50L/sec
液體氮?dú)獠都?/span> 有
補(bǔ)助泵 油回轉(zhuǎn)泵 20L/min
油霧捕集器 選項(xiàng)
操作系統(tǒng) 主閥 蝶閥
補(bǔ)助閥 三通閥e
自動泄露閥 有
操作 手動
控制系統(tǒng) 皮拉尼真空計 選項(xiàng)
電離真空計 選項(xiàng)
設(shè)置 *大尺寸　本體 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
電源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質(zhì)量　　　　本體 32kg
電源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。

效用

型式 VPC-061
所要時間 本體 100V 單相 50/60Hz 0.63kVA
電源 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 D種 （接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 2m
電源　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m

尺寸圖

zu_vpc061a.gif

蒸發(fā)電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽內(nèi)部構(gòu)成

基本構(gòu)成

zu_vpc060_060a_fc.gif

可選配件

zu_vpc061a_op.gif
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