成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備

產(chǎn)品型號(hào): VPC-1100

產(chǎn)品展商: ULVAC愛(ài)發(fā)科

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

成都西野：ULVAC愛(ài)發(fā)科小型蒸發(fā)設(shè)備 的詳細(xì)介紹

小型蒸發(fā)設(shè)備

VPC 系列

VPC-1100

ULVAC

將架臺(tái)上的油擴(kuò)散泵，油回轉(zhuǎn)泵，皮拉尼真空計(jì)，閥門配管，電氣系統(tǒng)，壓力測(cè)量口等必要的部件緊湊組合為一體的，配有鐘罩升降設(shè)備的電阻加熱型高速真空蒸發(fā)設(shè)備。
適用于大型基板的基礎(chǔ)研究開(kāi)發(fā)等實(shí)驗(yàn)用途。

特點(diǎn)

玻璃鐘罩更容易看到內(nèi)部，有良好的操作性。
可以在不停止主泵的情況下打開(kāi)真空槽。
通過(guò)追加蒸發(fā)電源和電極，可同時(shí)蒸發(fā)或多層蒸發(fā)。
更改為EB規(guī)格，可成膜高熔點(diǎn)的材料。
蒸發(fā)設(shè)備帶有腳輪，移動(dòng)更為容易。
帶有調(diào)節(jié)器，可確保設(shè)置的**性。

規(guī)格

型式		VPC-1100
真空性能	極限壓力	4.0×10^-４Pa 1.3×10^-４Pa（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空性能	排氣時(shí)間	4.0×10^-３Pa/10min 10^-４Pa臺(tái)/10min（液體氮?dú)馐褂脮r(shí)）
真空槽	真空槽	玻璃鐘罩（內(nèi)徑Φ390mm×高350mm)
	饋通圈	20端口(側(cè)面14/底面6)
	基板推薦尺寸?*大尺寸^※1	□50mm ? □220mm（Max）
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電極構(gòu)成	3點(diǎn)式
電源系統(tǒng)	蒸發(fā)電源?數(shù)量	SEREM PSE-150C?1 式 0～10V 150A（Max)
排氣系統(tǒng)	主泵^※2	油擴(kuò)散泵（水冷）　1100L/sec
	液體氮?dú)獠都?/span>	有
	補(bǔ)助泵	油回轉(zhuǎn)泵　200L/min、2臺(tái)
	油霧捕集器	選項(xiàng)
操作系統(tǒng)	主閥	蝶閥
	補(bǔ)助閥	三通閥
	自動(dòng)泄露閥	選項(xiàng)
	操作	手動(dòng)
控制系統(tǒng)	皮拉尼真空計(jì)	GP-1G
控制系統(tǒng)	電離真空計(jì)	選項(xiàng)
設(shè)置	*大尺寸　　本體	1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H）
	電源	設(shè)備本體收納
	質(zhì)量　　　　本體	313kｇ
	電源	設(shè)備本體收納

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時(shí)的值。
※2：準(zhǔn)備了分子泵（TMP）的規(guī)格

效用

型式		VPC-1100
所要時(shí)間	本體	200V 3相 50/60Hz 5.0kVA
	電源	100V 單相 50/60Hz 1.0kVA
接地端子		Ｄ種（接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接	本體　3Φ　200V	橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4壓著端子） 4m
	電源　1Φ　100V	橡膠絕緣軟性電纜（帶插頭） 4m
所要水量		1.5 L／min　（水溫：20～25℃、水圧：200kPa （表壓））
組合連接（ソケット）		Rp1/4 （帶有可觸摸式配件）
推薦軟管^※		滌綸軟管（內(nèi)徑9mm×外徑15mm）

※冷卻水配管，請(qǐng)客戶自行準(zhǔn)備。

尺寸圖

VPC-1100

蒸發(fā)電源 SEREM

真空槽內(nèi)部構(gòu)成

基本構(gòu)成

※我們將根據(jù)您的研發(fā)目的進(jìn)行定制。

[1]	器皿
[2]	過(guò)濾器
[3]	服務(wù)端口（L）
[4]	服務(wù)端口（S）
[5]	ゲージ端口
[6]	ハーメチック端口
[7]	シャッター
[8]	電極コモン
[9]	電極　１
[10]	電極?。?/span>
[11]	電極?。?/span>