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產品資料

成都西野：ULVAC愛發科小型蒸發設備

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 成都西野：ULVAC愛發科小型蒸發設備
產品型號: VFR-200M/ERH
產品展商: ULVAC愛發科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發設備。 DEPOX系列有不同排氣系統配置的4種類型。 易于操作適用于基礎研究開發等實驗用途。


成都西野：ULVAC愛發科小型蒸發設備  的詳細介紹

小型蒸發設備

DEPOX 系列

VFR-200M/ERH

ULVAC

將架臺上的主泵，輔助泵，皮拉尼真空計，電離真空計，閥門配管，電氣系統等必要部件緊湊組合為一體的電阻加熱型低成本小型真空蒸發設備。
DEPOX系列有不同排氣系統配置的4種類型。
易于操作適用于基礎研究開發等實驗用途。

特點

  • 玻璃鐘罩更容易看到內部，有良好的操作性。
  • 可以在不停止主泵的情況下打開真空槽。
  • 通過追加蒸發電源和電極，可同時蒸發或多層蒸發（*大４層）。
  • 蒸發設備帶有腳輪，移動更為容易。
  • 帶有調節器，可確保設置的**性。

規格

型式 VFR-200M/ERH
真空性能 極限壓力 8.0×10-４Pa
6.0×10-４Pa（液體氮氣使用時）
排氣時間 4.0×10-３Pa/15min
3.0×10-３Pa/15min（液體氮氣使用時）
真空槽 真空槽 玻璃鐘罩（內徑Φ300mm×高300mm)
饋通圈 12端口(側面8/底面4)
基板推薦尺寸?*大尺寸※1 □50mm ? □140mm（Max）
電源系統 蒸發電極構成 1點式
蒸發電源?數量 SEREM　PSE-150C　1 式
0～10V 150A（Max)
排氣系統 主泵 油擴散泵（空冷）（200L/sec)
液體氮氣捕集器 有
補助泵 油回轉泵（100L/min）
油霧捕集器 內置捕集器 OMI-100
操作系統 主閥 蝶閥
補助閥 三通閥
自動泄露閥 選項
操作 手動
控制系統 皮拉尼真空計 GP-1G
電離真空計 GI-M2
設置 *大尺寸　　本體 730mm（W）×603mm（D）×1161mm（H）
電源 480mm（W）×435.3mm（D）×149mm（H）
質量　　　　本體 145kｇ
電源 40kg

※1：*大基板尺寸是不考慮膜厚度分布時的值。

效用

型式 VFR-200M/ERH
所要時間 本體 100V 單相 50/60Hz 1.4kVA
電源 200V 單相 50/60Hz 1.5kVA
接地端子 Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下）
組合連接 本體　1Φ　100V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R3.5-4 圧接端子） 4m
電源　1Φ　200V 橡膠絕緣軟性電纜（帶R2.0-5接壓端子） 2m

尺寸圖

VFR-200M/ERH

zu_vfr200m_erh.gif

蒸發電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽內部構成

基本構成

fg_new_vpc_fcl.gif

※我們將根據您的研發目的進行定制。

可選配件

zu_vfr200m_erh_op.gif

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