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產品資料

ULVAC愛發科成膜設備可選部件

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: ULVAC愛發科成膜設備可選部件
產品型號: PSE 系列
產品展商: ULVAC愛發科
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

蒸鍍用電源(帶外部自動控制功能) 可根據規格的選擇在成膜控制器與溫度調節計的組合下控制


ULVAC愛發科成膜設備可選部件  的詳細介紹

成膜設備可選部件

蒸發電源SEREM系列

PSE 系列

ULVAC



蒸鍍用電源(帶外部自動控制功能) 可根據規格的選擇在成膜控制器與溫度調節計的組合下控制



規格

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PSE-150C

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電壓 AC １00V 單相 0.8kVA（50/60Hz）允許電壓變動范圍＝±10％
負荷電流 Max. 80A
控制信號 外部自動控制輸入 DC-0～10V/0～100％設定接收阻抗 1MΩ
電力控制方式 晶閘管交流相位控制系統（輸出穩定精度：±10％?輸出變動±2％）
定格 30分
外形尺寸 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件）
質量 約24kg

選項

標準代碼 PSE-
15C11111 		PSE-
15C21111 		PSE-
15C31111 		PSE-
15C12211 		PSE-
15C22211 		PSE-
15C32211
輸出位置切換功能 1點切換 2點切換 3點切換 1點切換 2點切換 3點切換
小電力切換功能 無 無 無 有 有 有
通過成膜控制器自動控制 無 無 無 有 有 有
通過溫度指示調節器自動控制 無 無 無 無 無 無
輸出遙控 選項 選項 選項 選項 選項 選項

標準代碼

項目 代碼 規格
1. 系列 PSE- 抵抗加熱式真空蒸著設備用蒸發電源、面板安裝系統、數字顯示
2. 電源容量→ 輸出容量可以選擇。 8 輸入：單相100V、輸出：80A（max）　0～10V　0.8kVA（max）※注１
5 輸入：單相200V、輸出：150A（max）　0～10V　1.5kVA（max）
3. 控制方式 C 自動定輸出反饋控制（恒定電流/定電壓/定電力　選擇方式）
4. 輸出位置切換功能
→ 可根據蒸發源的電極構成進行選擇。 		1 無：１點
2 ２點切換
3 ３點切換
5. 小電力切換功能→
可應用于有機物等小型輸出調整 		1 無
2 低輸出（0～50A）/高輸出（0～150A）變壓器切換
6. 自動控制器功能
→ 具有通過成膜控制器自動控制輸出的功能。 		1 無：手動調整
2 具有膜厚儀輸出自動控制功能（固定）
3 通過膜厚儀或溫度調節計，可以具有自動輸出控制功能（切換）
7. 內置溫度指示調節計
→ 具有通過溫度調節計自動進行輸出控制的功能。 		1 無
2 有（ＰＩＤ控制方式）※注２
8. 輸出遙控→ 監視真空槽內的同時有效地進行輸出調整 2 無
2 有（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作）

※注1 可對應輸出位置切換功能、膜厚儀自動功能、輸出遙控（小電力功能／溫度自動功能／溫調計功能不能對應）
※注2 僅自動控制器功能 [３] 選擇時適用


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