日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪
如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪
產品型號: WHA-300AS
產品展商: 日本近藤KONSEI
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
以下為日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪特點：
根據客戶的式樣制作設計制作。實際經驗豐富，請先向您咨詢。邊緣夾緊，不接觸表面。
■固定載波
適合所有搬送的事，可以對應所有的搬的姿勢。防止裝置的高速化防止筆芯。
■晶圓表里非接觸
只有邊緣接觸，一點不擔心伴隨著和吸附伴隨的觸控。
■清潔度班1對應
■WHA系列
側臂側側驅動
以上為日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪介紹
日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪
的詳細介紹
以下為日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪特點：
根據客戶的式樣制作設計制作。實際經驗豐富，請先向您咨詢。邊緣夾緊，不接觸表里方面。
■固定載波
請給所有搬送的事，可以對應所有的搬的姿勢。防止裝置的高速化防止筆芯。
■晶圓表里非接觸
只有邊緣接觸，有一點不擔心伴隨著和吸附伴隨的觸控。
■清潔度班1對應
■WHA系列
側臂側側驅動
以上為日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪的特點介紹
お客様のご仕様に合わせて設計製作します。実績豊富、まずはお問い合わせください。エッジクランプだから表裏面に接觸しません。
■固定搬送
クランプして搬送することで、あらゆる搬送姿勢に対応可能です。裝置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
■ ウエハ表裏に対して非接觸
エッジのみに接觸し、クランプ?吸著搬送に伴うパッド痕の心配がありません。
■ クリーン度クラス1対応
■WHA シリーズ
サイドアームのみの片側駆動式エッジクランプ
以下為日本KONSEI近藤WHA-300AS葉片型晶圓卡爪的參數：
仕様
|
型式
|
ＷＨＡ-200ＡＳ
|
ＷＨＡ-300ＡＳ
|
ＷＨＡ-450ＡＳ
|
|
搬送ワーク
|
ウエハ
|
|
ワークサイズ
|
φ200
|
φ300
|
φ450
|
|
搬送方式
|
エッジクランプ
|
|
搬送枚數
|
１枚
|
|
駆動方式
|
閉方向
|
スプリング（クランプ方式）
|
|
開方向
|
バーキューム圧－60KPa ～95KPa （負圧シリンダ採用）
|
|
動作ストローク
|
10 ㎜ （クランプ7㎜ クランプシロ3㎜）
|
|
把持力
|
２ ．４Ｎ ～１．９Ｎ
|
約７N
|
|
クリーン度
|
FED 規格 クラス１ （吸引要）
|
|
フォーク材質
|
ＣＦＲＰ
|
|
駒?仮受け座?パット
|
ＰＥＥＫ
|
|
本體重量
|
約0.4Kg
|
約0.5Kg
|
約1.7Kg
|
|
オプション
|
開閉確認センサー
|
