以下為日本KONSEI近藤WHB-450AS成批型晶圓卡爪特點:
根據客戶的式樣制作設計制作。實際經驗豐富,請先向您咨詢。一次一次批。
■吸附?邊緊固您和發酵各方式特殊對應鏈接。
■制作你想要一次搬送的數量。
例?2張一次的搬送到25張一次
以上為日本KONSEI近藤WHB-450AS成批型晶圓卡爪特點介紹
■吸著?エッジクランプ?おとしこみ各方式特殊対応実績豊富。
■ ウエハご希望搬送枚數を一括搬送できるユニットを設計製作いたします。
事例 ?5枚一括搬送ユニット ?25枚一括搬送ユニット
以下為日本KONSEI近藤WHB-450AS成批型晶圓卡爪參數介紹
クリーン梱包はしておりません。
型 式 | WHB-□□□AS‐ □□ | |
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搬送ワーク | ウエハ | |
ワークサイズ | φ300 //φ450 | |
搬送方式 | 3 種類( おとしこみ?吸著?エッジクランプ) | |
搬送枚數 | 2 枚~ 25枚 | |
駆動方式 | 閉方向 | ※詳細につきましては特殊仕様のためお問い合わせください |
開方向 | ||
動作ストローク | ||
把持力 | ||
クリーン度 | ||
フォーク材質 | CERP | |
駒?仮受け座?パット | PEEK | |
本體重量 | 約19 ㎏(φ300 の25枚搬送ユニット參考) | |
オプション | 開閉確認センサー |