SIMCO ION 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
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產(chǎn)品名稱: SIMCO ION 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
產(chǎn)品型號: 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
產(chǎn)品展商: SIMCO ION
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簡單介紹
SIMCO ION 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
SIMCO ION 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
SIMCO ION 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
的詳細介紹
SIMCO ION 擴展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
5635型Aerobar MP靜電消除器是一款超低顆粒兼容產(chǎn)品，用于要求精細顆粒管理小于等于100nm的場所的靜電消除，包括先進的半導(dǎo)體制造工藝。
特點
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單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險
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通過原始MP（脈沖調(diào)制）方法有效地將離子帶入目標(biāo)的高效靜電消除
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即使在100毫米距離和離子平衡下也可以使用小的潛在擺動特性，而且在棒長度上幾乎沒有偏差
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智能控制電路自動管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
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可拆卸1/4圈可更換電極有助于減少維護工時
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潛在的擺動非常小的MP方法的特點，設(shè)置簡易性也有效地作用于小保持在控制標(biāo)準長離子平衡電位擺動
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設(shè)置半導(dǎo)體前端EFEM對應(yīng)的長度條
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24 V DC驅(qū)動控制器的緊湊設(shè)計
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高水平的全球支持網(wǎng)絡(luò)
規(guī)范
5635型AeroBar MP
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輸入電壓
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24 V DC +/- 10％
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輸出電壓
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高達約13.5kv pp可調(diào)
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安裝距離
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100毫米至1000毫米（無空氣吹掃）
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離子生成方法
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電暈放電方式
MP（脈沖調(diào)制）方式調(diào)制頻率1?33Hz
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離子平衡
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自動平衡調(diào)整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v
（600 mm距離）
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電極
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單晶硅電極可交換
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吹掃氣體
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清潔干燥空氣或N 2
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*大吹掃壓力
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310 Kpa
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臭氧量
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<0.05 ppm（24小時積分值）
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信號輸出
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報警IO開集輸出
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維
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高度78毫米x深度34毫米x長度如下
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450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
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外觀
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ABS樹脂
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擴展ISO Class 1,10 nm？
關(guān)于擴展ISO等級1,10納米？ION Systems專門定義了清潔度的定義，以便應(yīng)對精細的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一個粒徑10nm的
