成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統9000系列

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產品名稱: 成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統9000系列

產品型號: 9000系列

產品展商: 日本日立HITACHI

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簡單介紹

成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統9000系列 20納米世代后的裝置對精度和工藝要求非常高，如雙重圖案和3D構造，以及針對新材料相對應的高精密度復雜制程要求，包含后道處理和形成保護膜等。為了對應這類下一代器件工藝，半導體蝕刻裝置9000系列統一了接口并且能夠搭載高精度模塊化的各種腔室，從而實現了對應***器件的擴展性和柔軟性的工藝。成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統9000系列

成都西野供應日本日立HITACHI半導體蝕刻系統9000系列 的詳細介紹

應用晶圓直徑	300mm
裝置構成	9 chambers (max.)

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