成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
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產品名稱: 成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
產品型號: CG5000
產品展商: 日本日立HITACHI
產品文檔: 無相關文檔
簡單介紹
成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
CG5000革新了運送類系統，并通過對電子光學技術及圖像處理技術的改良，實現了有史以來 高（注1）的分辨率，處理能力，測長再現性。并且該系統還強化了自動校準功能，提供了長期穩定的運行率。
另外，CG5000采用新測長技術及應用，可應用于使用新流程/新材料時所面臨的測長課題，也可**適用于1Xnm級設備的開發。
成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
成都西野供應日本日立HITACHI高分辨率FEB測長儀器CG5000(HITACHI CD-SEM)
的詳細介紹
高生產性
此裝置革新了運送機器的結構構成（包括裝、卸部件以及平臺速度和停止精度的提高），實現AF的高速化，通過可變像素實現測長區域的 優化，從而縮短MAM時間，與以往相比，提高了約40%的處理能力。
高分辨率
此裝置通過改良電子光學技術及圖像處理技術（降噪，改善邊緣銳度，圖像內部暗部強調），改善了Image Sharpness。
長期穩定性
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再現性
此裝置通過電子光學系統的穩定化，以及增加計量類型，可以實現測長區域的可設定性的可變像素，達到較高的再現性。
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匹配
此裝置使用平臺上的專用樣品，通過開發的多種自動校準功能，實現了長期穩定的匹配性能。
特別是顯著改善了CG5000同一型號間的機型差異，實現了生產線管理的穩定化。
