成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)
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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品展商: 日本日立HITACHI
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)
基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)
成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
提高生產(chǎn)性以及測(cè)量程式質(zhì)量
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可不使用晶片及測(cè)長(zhǎng)SEM，離線作成測(cè)量程式
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可僅通過制定計(jì)測(cè)點(diǎn)及測(cè)長(zhǎng)方法，自動(dòng)作成測(cè)量程式
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可不依賴于操作者的技術(shù)，作成統(tǒng)一質(zhì)量的測(cè)量程式
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采用服務(wù)器&客戶端方式
利用設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)自動(dòng)作成測(cè)長(zhǎng)SEM測(cè)量程式
「DesignGauge-Analyzer」特點(diǎn)
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對(duì)CG5000中取得的SEM圖像進(jìn)行再次測(cè)長(zhǎng)
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具備可通過SEM圖像查閱及表格形式進(jìn)行測(cè)長(zhǎng)結(jié)果確認(rèn)等數(shù)據(jù)分析功能
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使用測(cè)長(zhǎng)算法的Contour（模型形狀的輪廓線）提取功能（Contour：可選功能）
光刻工藝的OPC評(píng)價(jià)，模型測(cè)量的 優(yōu)化的支持
